東京理科大学、UVナノインプリントリソグラフィーに適した樹脂 … – ITpro

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　東京理科大学の安藤格士氏らの研究グループは、紫外線（UV）ナノインプリントリソグラフィーに適した樹脂の分子的特徴を確認した。分子の挙動をシミュレーションにより再現し、樹脂充填を成功させるために必要な特性を明らかにした。樹脂の選択・設計の指針を示すもので、半導体製造の効率化が期待できるという。
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